高光时刻丨张大成教授获2020年度上海市科学技术发明奖一等奖

Time： 2021-09-24 admin

近日，上海市政府日前公布了2020年度上海市科学技术奖获得者名单。集成电路科学与未来技术北京实验室张大成教授参与的项目“高效单面加工MEMS规模制造关键技术”获得2020年度上海市科学技术发明奖一等奖（个人排名第3，单位排名第2）。

张大成教授参与的“高效单面加工MEMS规模制造关键技术”项目，针对我国长期存在的MEMS量产难、检测难和封装难的问题，在国家973等项目支持下，产学研用结合，发明了高效单面加工MEMS规模制造关键技术。该发明成果实现了底层传感器核心芯片规模制造技术的突破，对解决传感器芯片严重受制于人的卡脖子难题，具有显著的战略意义。